表面粗糙度的测量方法

发布时间:2017-12-08 10:59:04 文章分类： 点击数：

表面粗糙度的测量方法

 

现在所存在的表面粗糙度测量方法，在实验条件下能

够有效实现精密表面粗糙度测量。

 

然后表面粗糙度测量要求良好的测量环境，斑干涉原

理已经在制造环境下应用于工程表面粗糙度测量。

 

这类方法是基于统计和建模，不适用于表面粗糙度测

量，而对这种方法不可能获得表面粗糙度轮廓以方便

于进一步表面特征和工艺分析。

 

干涉显微打技术已经应用于表面粗糙度精密测量，横

向剪切干涉技术是一种自参考干涉测量技术，具有良

好的抗振、抗干扰特性。