光波干涉法与感触法

发布时间:2018-03-30 09:16:13 文章分类： 点击数：

光波干涉法与感触法

 

在这里我们所说的光波干涉法，则是指光波干涉法利用光

波干涉显微镜与多光束干涉显微镜进行使用的一种方法。

 

同时在对光波干涉显微镜最大的优点来说则就是用来进行

测量精度高，同时还可以把所测量的精度高达0.001微米

到0.003微米。

 

但是对于光波干涉的使用与对光波干涉的调整是非常困难

的，不如光束显微镜应用的范围广泛。

 

而对于感触法来说则是一个可以利用触针方法直接在所需

要检测的工件表面上轻轻的进行划过，这样就可以测定表

面粗糙度的值了。