扫描电子显微镜的主要性能指标

发布时间:2019-05-11 10:11:31 文章分类： 点击数：

扫描电子显微镜的主要性能指标

 

在这里我们则主要说的是扫描电子的分辨本领与放大率

，通常情况下对于扫描电子显微镜主要性能指标来说则

包括了上面所说的两个外。

 

还有就是加速电压与衍射相机长度以及自动化程度所具

备有的一个功能等等。

 

因此对于扫描电子显微镜分辨本领来说则就是分辨率，

则点分辨率与线分辨率这三种，从电子图像上能够进行

分辨出的相邻两个点在试样上的距离则就是点分辨率。

 

而如果在电子图片上分辨出最小晶体面间的距离，则就

是线分辨率与晶格分辨率，对于放大率来说则是指电子

图像相对于试样表面的一个线性放大倍数。