微机电系统研发与制造阶段电气特性与动态特性

发布时间:2020-03-13 14:18:38 文章分类： 点击数：

微机电系统研发与制造阶段电气特性与动态特性

 

对于微机电系统研发与制造阶段电气特性与动态特性则

是在整个阶段进行的一个制造特征特性。

 

因此对于测定这些系统的方法就变的非常有必要了，而

如何进行测定这些系统则就需要借助于测试的方法了。

 

在这里我们可以对其进行评价出微系统以及元件的一个

静态特征，如对尺寸或是形态、方向与表面特征进行评

价。

 

这主要是利用基于图像处理技术与计算机的光学测试技

术方法，这样一来就可以把它应用于众多的步骤中进行

快速的非接触式的记录下这些特征。