微系统与微电子元件相比

发布时间:2020-03-17 13:09:12 文章分类： 点击数：

微系统与微电子元件相比

 

如果我们把微系统与微电子元件进行相比，则对于微系

统来说则具有一个明显的三维结构，对于这种结构则就

是使用微注模技术制造的微光谱仪。

 

但是对于经典的微系统的微机电系统结构来说，则特别

是对于传感器和反射镜系统在本质来说则是一个二维的。

 

因此对于这一特征则主要是采用半导体材料和相对应的

制造工艺微机系统的一个结果，因此在基于微机电系统

的产品来说则它的显著特征则就普遍采用混合结构。

 

对于微系统与微电子元件两个性质均可以影响到图像的

处理与计算机的视觉对实现微机电系统的测试同样有影

响。