干涉显微镜表面光洁度的测定方法
发布时间:2020-10-28 10:25:48 文章分类： 点击数：
精密加工过的试样表面粗糙度常用干涉显微镜进行测量。电解抛光、化学
抛光过的试样表面质量也可以用干涉显微镜进行鉴定。如果表面有微小的谷峰
存在就会造成干涉条纹弯曲，根据测量干涉条纹弯曲的程度，即可测到光洁度。
关键词：
干涉显微镜，表面光洁度，测量，金属表面
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