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本文标题："激光显微镜用于检测软X射线的干涉分束器"
激光显微镜用于检测软X射线的干涉分束器
激光显微镜用于检测软X射线的干涉分束
器，最终的衍射图样是在软X射线的显示，
干涉仪显微镜是一种改性的曾德尔型干涉
仪，它包括两个分束器和四个全反射镜。
这里所使用的光束分离器是50％的透射
率和50％的反射光栅的类型。
分束器是第一基站的衍射图案进行了研究，
利用激光器的衍射图案由软X射线干涉仪的产生，
显微镜试样进行的研究中分强度的位置。
对于分束器20度的入射角的衍射图
案显示了圆形阵列。
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