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本文标题："扫描电子显微镜具有哪些特殊性能简单了解仪器设备（之一）"
扫描电子显微镜具有哪些特殊性能简单了解仪器设备（之一）
扫描电子显微镜已有五十多年的历史了，通过这几
十年的不断发展，它已经成为现代生物细胞学研究
中不可缺少的一种重要的分析仪器，
同时也象征着社会发展与仪器发展是成正比的。从一
九七三年之后，全国乃至全世界都开始引进扫描电子显微镜。
扫描电子显微镜采用电子枪作为发射电子装置会有哪些特点：
①目前，大部分仪器中都会采用场发射电子枪作为
发射电子装置，分辨率可达到30安，装有三级电磁透
镜，相当于一个大型的扫描电子显微镜。
②针对一些冶金、金属物质时，利用场发射电子枪作
为发射电子装置时，同时也可以作为电子探针微区分析
所用的X射线谱仪分析，有利于选较小区域的
成分进行分析工作。
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