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本文标题:"什么是光波干涉法与感触法"

什么是光波干涉法与感触法

在这里我们所说的光波干涉法,则是指光波干涉法利用光
波干涉显微镜与多光束干涉显微镜进行使用的一种方法。

同时在对光波干涉显微镜最大的优点来说则就是用来进行
测量精度高,同时还可以把所测量的精度高达0.001微米
到0.003微米。

但是对于光波干涉的使用与对光波干涉的调整是非常困难
的,不如光束显微镜应用的范围广泛。

而对于感触法来说则是一个可以利用触针方法直接在所需
要检测的工件表面上轻轻的进行划过,这样就可以测定表
面粗糙度的值了。

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