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本文标题："扫描电镜的主要性能-分辨率与束斑直径"
扫描电镜的主要性能-分辨率与束斑直径通常情况下对于扫描电镜的分辨率来说，则是扫描电镜最
主要的一个性能指标。
一般情况下扫描电镜分辨率的使用通常则是使用在测量所
特定的条件下进行拍摄的图像的两个亮点之间一个最小的
暗间障的宽度距离。
在这里所说的遗忘收除了放大倍数以外，则就是扫描电镜
的分辨率了，它们之间的关系有许多因素相关。
而在这种影响着扫描电镜分辨率的最主要因素，则就是扫
描电子束斑的直径，一般所认为的在理想的情况下扫描电
镜分辨率不可能小于扫描电子斑光束直径的。
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