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本文标题："SEM有主工性能指标及其影响因素"
SEM有主工性能指标及其影响因素通常情况下在这里我们所说的SEM则就是扫描电子显微
镜，同时对于SEM的使用则有着限制与影响其分辨率的
因素是非常多的。
则我们可以把这种影响因素分为三个方面，则分别是对
SEM入射电子束斑直径的影响，样品对电子的散射作用
以及信噪比的关系。
而为什么说入射电子束斑直径则就是通过减小电磁透镜
的像，与增加透镜缩小倍数，这样从而提高SEM的分辨率。
但是对于样品对电子的作用身影是样品表面在发射出信
息的最小范围内，则实际上是决定了一个有效的入射电
子束斑的大小。
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