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本文标题:"复用频谱彩色的共焦感应,彩色显微镜的共焦原理"

复用频谱彩色的共焦感应,彩色显微镜的共焦原理

我们提出了一个概念的彩色共焦距离感应与多点触摸的技术,

采用两个级别的频谱复用多个横向测量点的并行化评价,

在第一级中,用于彩色共焦原理范围内的光谱分布,

传感器信号的距离信息进行编码。对于横向复用,总的传感器的光谱带宽分割成条带。

每个频带被分配给一个不同的横向测量点,由一个分段衍射元件。

基于这样的理念,我们的实验展示出一种彩色共焦三点传感器,

适用于恶劣的生产环境中,因为它的工作原理与单点光谱仪不需要扫描功能。

实验系统的工作距离超过了50毫米,9毫米,轴向分辨率为50μm的测量范围。

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