本文标题："轮廓测量与超辐射发光二极管，波长扫描干涉仪的显微镜"

轮廓测量与超辐射发光二极管，波长扫描干涉仪的显微镜

正弦步在正弦相位调制干涉测量中的光路长度（OPD），

这大于一个波长的测量，是通过检测正弦相位调制的幅度，

干扰信号的光源波长，是由正弦扫描ZB得到的。

创建具有大扫描宽度的波长光源，通过使用超辐射激光二极管，

这得到的测量值中的误差小于中心波长的一半。

在这种情况下，可以结合测量值与一个分数值的干扰信号，

从传统的相位获得的OPD。正弦与光源的波长扫描干涉仪，

测量超过几十微米时具有很高的精度为几纳米。

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