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本文标题:"一般薄膜基底系统的光学参数的测定,反射光显微镜的检测"

一般薄膜基底系统的光学参数的测定,反射光显微镜的检测

基于概念的信封极端和地方的震的改写,

我们提出了一个重新的光学参数的测定,一般薄膜基板的系统。

光度程度干扰的电影开发了形式主义,介绍我们建立多少个参数,

这可以提炼出了一套测量和哪种类型的样品模型。

这些参数是薄膜与基材的折射率和吸收(即1 = 1 - 1和N 2 = N 2 JK - JK 2),

膜的厚度(D),膜的不均匀性(Δ1),和表面粗糙度的接口(2),限定膜新的形式主义,导致了一些新的分析结果并确认,

新的结果我们有以下几点:

(一)常用的数学条件与干涉图样的极值(最大或最小值),定义实际上是一个为信封极端的条件。

(二)在没有先验知识的厚度或基片的折射率,我们有一个光学干涉膜,可以得到膜的折射率。

(三)吸收直接解压就可以从一个无干扰的幅度/(1 - )得到结果。

(四)表面粗糙度的内表面中的不均匀性和吸收相关的反射光谱的测量。


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