本文标题："散射光的角分布在正弦的光栅，显微镜的测量与计算"

散射光的角分布在正弦的光栅，显微镜的测量与计算

散射光的分布来自He-Ne的激光为6°的角度，

入射的光由金涂层和铝涂层光栅的振幅为6.67微米，

90nm期间的散射光的角分布进行了测量和计算。

贝克曼的标度理论和瑞利的矢量理论，预测与实验结果进行了比较。

测得散射图案的背景下进行的散射光，

主要是由于残留的表面粗糙度，显微镜测得表面的粗糙度，

此外，高阶峰的功率是由几个数量级比二计算的，

可主要归因于在档案中谐波与低序的贡献。

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