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本文标题:"利用光谱的偏半波双折射,生物显微镜对厚透明度的检测"

利用光谱的偏半波双折射,生物显微镜对厚透明度的检测

单轴的各向异性基板厚度测量方法,

调查的半波晶片是双折射的测量方式,

基于单轴晶片可从一个记录通过使用一个标准的相位调制,

光谱椭偏仪受干涉条纹的影响,

单轴晶片的双折射的计算方法是记录在振荡强度的极值点。

其形式主义的开发将双折射率随波长的变化作为校正因子。

校正因子介绍了高估的双折射厚度,

单轴的蓝宝石衬底有以前类似的研究,观测显微镜上的晶片,

双折射是由于偏振依赖intraconduction增强的衍生物的检测。

此外,其特征在于晶圆的表明,该方法可以用在4H-SiC和类似的单轴,较高的带隙是半导体晶片厚度的映射。




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