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本文标题："单片集成的光电探测器，倒置显微镜的反向研究"
单片集成的光电探测器，倒置显微镜的反向研究
对于单片的集成和光电探测器的测试，其中包括了可
变的光衰减器的同步操作，
我们通过试验证明在光电检测器，可变光衰减器的
基础上包括了亚微米级波导的单片集成。
通过自耦合器连接到音沿的波导。此概率表现出了低暗
电流，响应在室温下的反向偏置。这些特性是均匀的芯片规模。
而显微镜的概率产生了光电流，精确的相对于直流光功率
的衰减，两个器件的工作同步于调制的光信号，以及
截止的频率为100兆赫，
而PD的同步响应速度是由可变衰减响应的速度限制
的。这是第一个的示范设备，据我们所知这是基
于硅的高载流子注入型光调制器件的单片集成，
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