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本文标题:"光学显微镜的调制器研究晶体结构的集成"

光学显微镜的调制器研究晶体结构的集成

 
    基于多晶试样结构的集成包括了光学显微镜
的调制器,那么优质的多晶薄膜结构是由脉
冲的激光中沉积的技术,
 
    在衬底中沉积的参数可以进行了优化,这样
可以实现光学品质的薄膜为4分贝/厘米在633纳
米波长下的衰减系数。  
 
    对于薄膜的电光调制器制作,这与标准光刻
和离子束的蚀刻有相同的模式。需要借
助精密仪器来完成。
 
    由于光刻的图案化是由波导的脊型衡量的,它
们确保了单模传播中的的波长范围,估计在
633-1550纳米之间,多晶试样的检测可以
估计薄膜的电光系数。
 

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