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本文标题："移相干涉仪的测量标准，相位显微镜的表面检测"

 移相干涉仪的测量标准，相位显微镜的表面检测

 
   单光束的干涉仪由折叠光束进行检测，基于光束的折叠是一种新
型的单光束干涉仪进行描述。
   该装置类似于一个国外的干涉仪，其中两个臂都是在一个准直光
束的定位，在一起是同一光束，在不同半部干扰下实现，
   帮助下的结果是镜面沿着光学系统放置在靠近成
像透镜的焦平面的轴线的反射面。
   相位延迟控制是应用的不同的干涉仪器，它允许使
用相步进的干涉测量技术来实现的。
   移相干涉仪能够测量测试表面的复合指数和简介的原型结果，
   结果列能够同时测量的实部和折射的复合指数，虚数部分在一个测
试表面的表面轮廓的原型相移干涉仪。
   我们所关注的是三个参数，这是来自于最大的估计，也是理
论上的测量数据。该系统的性能可以进行定量的评估。
   其结果显示这样的技术强烈依赖于8位的CCD相机，入射电场的振
幅相对于振幅，并通过干涉仪的每个臂到各偏振分量的相位差中干涉图的量化。
 

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