本文标题："垂直扫描干涉技术的研究--衍射显微镜的装置"

垂直扫描干涉技术的研究--衍射显微镜的装置

    相位显微镜所提议的装置包含了测量相位的延

迟，用于测量的相位延迟有标准的装置,

    已经实现的实验技术的缺乏能够在一个简单的

数学表达式，这可以提供快速的和直接准确的结果，

    这样的配制是简单也包括了底层的物理概念。该

设备可以满足这些需求和简单的公

式相位延迟测量的介绍。

    白光的垂直扫描在干涉条纹的调制效应，干

涉条纹的调制中可以在一个步骤中进行高度的测量，

    这样产生的工件在白光垂直扫描干涉偏斜效

果进行的说明。偏斜的发生在上的位

置或接近下测定试样中的步骤，

    检测的高度小于所使用光源的相干长度的边缘。衍

射显微镜的检测模型用于解释这种测试的效果。

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