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本文标题:"显微镜的反射率表现在极紫外设计的增强"

显微镜的反射率表现在极紫外设计的增强

 
    多层镜的反射率在极紫外增强的设计,数字显微镜的
显示在极端紫外线的多层膜反射镜调整为14nm的光谱区,
    其实为了双组分恒定层的厚度在多层系统的普遍使
用,可以明显提高我们将额外的材料的检测技术。
    四分之一波长的多层膜反射镜的性能可以进一步提
高,通过全局优化的程序与该层的厚度为最佳性能的变化。
    通过将额外材料的不同复折射的检测和基因的检测
在各个区域,我们观察到的标准有不合理的技术比较,
    单一的反射5%峰值在反射率的增强。我们表明了光
学系统中九个近垂直的入射反射镜的表面检测,
    光学吞吐量可以增加在一个因子为一样大的结果。我
们通过显微镜的观测还表明了保护的覆盖层,
    除了从保护镜对环境的检测,我们可以提高反射
率的特征。我们还可以从显微镜的检
测效果中观测到不一样的效果。

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