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本文标题："研究高度测量的技术--双频干涉共焦显微镜"

研究高度测量的技术--双频干涉共焦显微镜

 
    高度测量的技术是由双频干涉共焦显微镜
发明的一种新方式，也是一种新的工具，
    该双频的干涉式共焦显微镜是新型的设计，
这有利于了步骤的特征进行的测定研究。
    它结合了外差干涉的高分辨率和共焦显微镜
的相对大的测量范围的优点。
 
    共聚焦显微镜系统的轴向响应曲线进行了比
较，其中与各个数值孔径和倍率微观
的对象被用于实验。
    该结果证明在光强度的变化是足够的，以
允许了干涉条纹的不同阶的判别。
 
    这已成功用于衡量标准掩模的台阶高度，这
与实验结果吻合的很好，通过扫描探针的
显微镜进行的测量。
    实验还结果还表明了该系统具有良好的可重
复性，最大的偏差大约在5nm。
 

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