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本文标题:"奈米金属多层薄膜材料,材料表面检测材料显微镜价格"

 多层薄膜广泛应用于积体电路晶片、各种微/纳感测器及微电子机械系统中。大量的研究表明:当这些材料的几何尺寸减小到亚微米甚至奈米尺度时,会表现出诸 多不同于块体材料的物理性能。特别是其力学性能已不能够完全采用传统块体材料的理论与模型进行描述与评价。因此,澄清具有奈米尺度的多层薄膜材料的力学行 为及其尺度效应是目前微/奈米系统中有待解决的小尺度器件材料的可靠性问题。

经典的Hall-Petch细晶强化理论告诉我们,减小材料内部 的晶粒尺寸可以显着提高材料的屈服强度。为此,近年来人们通过不同的制备和加工手段获得了超细晶和奈米晶材料,从而大幅度地提高了材料的强度。甚至晶粒尺 寸为零的金属玻璃也表现出了极高的强度。但这些材料的一个共同缺点是具有较低的塑性,这极大地限制了它们的应用。其塑性降低的根本原因在于这些材料中极易 发生不稳定的塑性变形,即剪切带变形,从而使其失去了有效的应变硬化能力而发生过早的断裂。目前,人们认为当材料的晶粒尺寸减小到奈米尺度时,晶粒内部的 位错萌生、运动和存储受到强烈约束,晶粒中位错交互作用引起材料硬化的能力下降,而界面协调的变形-如晶界滑移、晶粒旋转等方式将会更容易发生。值得思考 的是:对于微/纳器件用多层薄膜材料来说,由于其不仅具有超细甚至奈米尺寸的晶粒,而且还拥有大量的膜/膜异质界面,这些界面也将对位错产生强烈约束作 用,这种奈米金属多层薄膜材料是否也会有剪切带变形行为出现呢?
与材料尺度有关的基本变形机制又如何呢? 

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