多层薄膜广泛应用于积体电路晶片、各种微/纳感测器及微电子机械系统中。大量的研究表明:当这些材料的几何尺寸减小到亚微米甚至奈米尺度时,会表现出诸 多不同于块体材料的物理性能。特别是其力学性能已不能够完全采用传统块体材料的理论与模型进行描述与评价。因此,澄清具有奈米尺度的多层薄膜材料的力学行 为及其尺度效应是目前微/奈米系统中有待解决的小尺度器件材料的可靠性问题。
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