本文标题："干涉反射光显微镜正弦波长的扫描，反射光显微镜的扫描技术"

干涉反射光显微镜正弦波长的扫描，反射光显微镜的扫描技术

我们建议正弦的可调谐激光二极管的波长扫描，

干涉反射计是用来检测多个反射面的位置和档案。

一个客观的信号从干扰信号中提取调制幅度，相都涉及到的位置和配置文件，以及多个反射面。

通过使用特殊时期的客观信号的值，可以产生图像的强度，其中显示出存在的反射面。

想要获得精确值，我们估计的目标信号通过采用共轭梯度法。

实验结果表明，两光程差（OPD）的图像强度，分辨率为60微米，

最后OPD的精度分别为在两个和三个反射面2和8微米，

反射光显微镜扫描的波长宽度为7nm ，板厚度为20μm的石英玻璃的前表面和后表面的信息，已被测量的精度为约10 nm 。

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